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第一章 高纯气体与电子学的关系1

第一节 高纯气的分类和应用1

一、引言1

二、根据半导体工艺用气的分类11

第二节 气体纯度对半导体器件（光伏、光纤）的影响15

一、高纯气体在半导体中的具体应用分类15

二、气体纯度和杂质及其表示方法15

三、气体中的杂质分类16

四、大规模集成电路对气体纯度的要求16

五、气体中杂质对半导体器件（光伏、光纤、电光源）的影响17

参考文献19

第二章 气体纯化20

第一节 吸附与吸附剂20

一、吸附分离20

二、吸附剂的物理性质22

三、吸附剂及其他纯化材料和性能26

四、气-固表面吸附平衡35

五、吸附剂的具体应用41

六、分子筛的其他应用48

七、吸附树脂50

第二节 精馏51

一、蒸馏与精馏52

二、气-液相平衡及计算53

三、相平衡常数及计算54

四、简单蒸馏56

五、精馏57

六、精馏塔60

第三节 其他纯化气体方法62

一、膜分离技术62

二、催化剂65

三、吸杂剂66

四、熔体合金67

五、钯合金扩散净化67

六、贮氢材料68

七、离子液体69

第四节 现代电子气体的制造和纯化70

一、新型的吸附（催化）剂70

二、周期表IA族金属吸附剂（scavenger）72

三、电子用特气的脱除痕量水72

四、超低发射（ultra low emission， ULE）碳75

五、终端低温纯化器77

六、各种电子气的纯化81

七、电化学制备砷烷气体101

八、三氟化氮萃取精馏纯化102

九、六氟化钨的合成和纯化105

十、六氟化钼的制备和纯化107

十一、六氟化硫的合成和纯化108

十二、氯气等卤化物气体纯化111

十三、金属烷基化合物的制备和纯化112

十四、三甲基硼的特点及纯化技术指标113

十五、多级离心分离技术应用于气体纯化114

十六、制备色谱115

第五节 混合气的配制和纯化117

一、常用集成电路混合气117

二、电光源用混合气119

三、激光混合气120

四、电子混合气的典型浓度和技术指标121

五、电子混合气配制精度122

六、混合气的纯化——镍-磷催化剂制备123

参考文献124

附录127

第三章 高纯气体分析131

第一节 气相色谱分析131

一、气相色谱法分析的对象131

二、气相色谱分析仪器简介和方法132

三、色谱术语和色谱峰133

四、色谱的基本理论134

五、色谱仪的构成139

六、气相色谱痕量分析176

第二节 痕量水、氧的分析179

一、痕量水分析179

二、痕量氧分析185

第三节 粒子分析187

一、引言187

二、微粒（金属杂质）对电子工业的重要性188

三、大气尘的粒度分布190

四、粒径191

五、测定方法192

第四节 现代高纯气体中痕量杂质分析197

一、GC-MS测定砷烷中杂质197

二、GC-ICP-MS锗烷中磷烷分析199

三、GC-GC-…多维色谱技术200

四、浓缩（富集）法分析高纯气体中杂质实例203

五、分析仪器小型化205

六、其他的痕量气体分析仪器和分析方法216

参考文献222

第四章 压力容器——气瓶226

第一节 气瓶226

一、定义226

二、气瓶的安全监督和管理226

三、按安全管理的需要分类226

四、气瓶命名规则227

五、气瓶标志228

第二节 气瓶附件235

一、气瓶阀235

二、气瓶压力泄放装置和回火防止器237

第三节 低温液体贮运设备及其附件238

一、引言238

二、低温液体的特性和应用238

第四节 气体安全和安全技术238

一、燃烧和火灾事故239

二、爆炸事故及防爆240

三、气体毒物242

第五节 现代气体贮存介质和容器246

一、引言246

二、离子液体246

三、氟金属骨架材料251

四、P-P（polymerized polymeric）和POP（porous organic polymer）252

参考文献255

附录256

附图262

第五章 危险性气体的检测和节能减排263

第一节 气敏传感器263

一、引言263

二、常见气敏元件的分类263

三、质量传感器268

四、气敏传感器的应用273

五、基于新材料和MEMS的传感技术277

六、选择性的气敏传感器279

第二节 节能减排实例281

一、节能减排实例一281

二、节能减排实例二283

三、节能减排实例三284

四、节能减排实例四286

五、节能减排实例五287

六、节能减排实例六287

七、节能减排实例七289

参考文献289

附录292

附录1：常见电子气体国家标准（GB/T）、行业标准（HG）编号列表（部分）292

附录2：国外电子气体标准（部分）296

附录3：常用气相色谱图311